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Hard surface photomask substrates
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准号：GB/T 15871-1995发布日期：1995-12-22实施日期：1996-08-01标准类别：产品中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。采标中文名称:。
长沙韶光微电子总公司
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则20204845-T-339 嵌入式基板测试方法20242699-T-607 塑料镜面光泽试验方法20220107-T-339 刚性有机封装基板规范SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范20231187-T-469 平板显示器基板玻璃规范GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
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微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
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提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
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独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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