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156-0036-6678
Chrome thin films for hard surface photomasks
国家标准《硬面光掩模用铬薄膜》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准号:GB/T 15870-1995发布日期:1995-12-22实施日期:1996-08-01标准类别:产品中国标准分类号:L97国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
本标准等效采用其他国际标准:SEMI P2:1986。采标中文名称:。
长沙韶光微电子总公司
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管(TFT)用掩模版规范20242896-T-604 电气绝缘用薄膜第6部分:聚酰亚胺薄膜20250505-T-607 包装用聚乙烯吹塑薄膜GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则20242894-T-604 电气绝缘用薄膜第3部分:电容器用双轴定向聚丙烯薄膜GB/Z 21212-2007 薄膜开关用聚酯薄膜20221901-T-607 皮革 铬鞣鞋面用坯革 规范GB/T 33765-2017 地面光伏系统用直流连接器GB/T 13542.6-2006 电气绝缘用薄膜第6部分:电气绝缘用聚酰亚胺薄膜
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