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Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位长沙韶光微电子总公司。
标准号：GB/T 16527-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。
长沙韶光微电子总公司
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微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
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提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
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独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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独立公正立场
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