GB/T 32281-2015《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法》

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司。

主要起草人薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞。

基础信息

标准号：GB/T 32281-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2017-01-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.30 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司中铝宁夏能源集团有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司新特能源股份有限公司

起草人

薛抗美夏根平范占军蒋建国王泽林宋高杰肖宗杰盛之林林清香徐自亮刘国霞

相近标准(计划)

20231109-T-469 太阳能级硅多晶GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法20232769-T-469 表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法YC/T 316-2014 烟用材料中铬、镍、砷、硒、镉、汞和铅残留量的测定电感耦合等离子体质谱法SN/T 3708-2013 铬铁中硅和磷含量的测定微波消解-电感耦合等离子体原子发射光谱法YB/T 6192-2024 钼铁硅、磷、铜、锡和锑含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法YS/T 984-2014 硅粉化学分析方法硼、磷含量的测定YB/T 4908.2-2021 钒铝合金硅、铁、磷、硼、铬、镍、钨、铜、锰、钼含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法20203888-T-469 饲料中盐酸氨丙啉、乙氧酰胺苯甲酯和磺胺喹噁啉的测定

上一篇： 医疗保健产品灭菌湿热第1部分：医疗器械灭菌过程的开发、确认和常规控制要求

下一篇： 纺织工业防火防爆管道安全装置技术规范