GB/T 32999-2016《表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

国家标准《表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心。

主要起草人吴正龙、姚文清。

基础信息

标准号：GB/T 32999-2016发布日期：2016-10-13实施日期：2017-09-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。采标中文名称:表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。

起草单位

北京师范大学分析测试中心清华大学分析中心

起草人

吴正龙姚文清

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