GB/T 21287-2021《电子特气三氟化氮》

Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

国家标准《电子特气三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位昊华气体有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。

主要起草人王娟、付梦月、王少波、孟祥军、傅铸红、陈艳珊、马建修、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、丁高松、裴友宏、韦杰广、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、依俊廷、何波、杨康、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、唐霞梅、李光辉、周鹏云、黄超。

基础信息

标准号：GB/T 21287-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01全部代替标准：GB/T 21287-2007标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

昊华气体有限公司西南化工研究设计院有限公司天津绿菱气体有限公司海宁市英德赛电子有限公司浙江省化工研究院有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司广东华特气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司昊华气体有限公司西南分公司杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）上海华爱色谱分析技术有限公司上海凡伟仪器设备有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司和立气体（上海）有限公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司

起草人

王娟付梦月傅铸红陈艳珊曹素英宋富财裴友宏韦杰广王新喜孙猛吕博文陈洁依俊廷何波宫兵王大为梁永强梁成科唐霞梅李光辉王少波孟祥军马建修何经余苏子杰丁高松史婉君张建君鬲春利张琦炎吴靓方华杨康黄辉易达文李阳高静马昌宁周鹏云黄超

相近标准(计划)

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