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Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知(合肥)技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司。
主要起草人曹诗亮 、李根梓 、马卓标 、胡永刚 、孙立宁 、许磊 、王雄伟 、王学文 、王春举 、钱峰 、张森 、武斌 、张红旗 、张启心 、汤一 、陈林 、王文婧 。
标准号:GB/T 44849-2024发布日期:2024-10-26实施日期:2025-05-01标准类别:方法中国标准分类号:L59国际标准分类号:31.080.99 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委
本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-14:2012。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分:金属薄膜材料成形极限测量方法。
合肥美的电冰箱有限公司无锡华润上华科技有限公司微纳感知(合肥)技术有限公司西北工业大学深圳市美思先端电子有限公司上海临港新片区跨境数据科技有限公司安徽北方微电子研究院集团有限公司中机生产力促进中心有限公司苏州大学宁波科联电子有限公司美的集团股份有限公司华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)北京晨晶电子有限公司
曹诗亮李根梓孙立宁许磊王春举钱峰张红旗张启心王文婧马卓标胡永刚王雄伟王学文张森武斌汤一陈林
20240910-T-469 微机电系统(MEMS)技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法20242020-T-469 微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁场传感器技术规范GB/T 44515-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法20240911-T-469 微机电系统(MEMS)技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验(MCT)测量方法GB/T 44839-2024 微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法20243541-T-469 微机电系统(MEMS)技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法20242019-T-469 微机电系统(MEMS)技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片20242021-T-469 微机电系统(MEMS)技术MEMS电容式麦克风性能试验方法
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