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CD Metrology procedures
国家标准《关键尺寸(CD)计量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC4(全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会)执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院微电子中心。
标准号:GB/T 17864-1999发布日期:1999-09-13实施日期:2000-06-01标准类别:方法中国标准分类号:L56国际标准分类号:31.200 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门:国家标准委
本标准等同采用其他国际标准:SEMI P24:1994。采标中文名称:。
中国科学院微电子中心
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严格按照法律法规和行业标准行事,不受任何外部干扰,真实反映实际情况,出具的检测报告具有权威性和公信力。
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服务领域广泛
服务领域广泛,涉及众多行业。食品、环境、医药、化工,还是建筑、电子、机械等领域,都能提供专业检测服务。
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