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156-0036-6678
The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京有色金属研究总院。
标准号:GB/T 18032-2000发布日期:2000-04-03实施日期:2000-09-01标准类别:方法中国标准分类号:H24国际标准分类号:77.040.01 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
北京有色金属研究总院
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