GB/T 24468-2009《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》

Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国电子技术标准化研究所。

主要起草人黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝。

基础信息

标准号：GB/T 24468-2009发布日期：2009-10-15实施日期：2009-12-01标准类别：基础中国标准分类号：L85国际标准分类号：17.040.30 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准：SEMI E10-0304:2004。采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范。

起草单位

中国电子技术标准化研究所

起草人

黄英华刘筠张建勇蒋迪宝

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