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Test methods for the mechanical properties of getters
国家标准《吸气剂机械性能测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团第十二研究所。
主要起草人薛函迎 、郭卫斌 、张巨先 、刘筠 。
标准号:GB/T 25496-2010发布日期:2010-12-01实施日期:2011-05-01全部代替标准:GB/T 9506.9-1988,GB/T 6626.4-1986,GB/T 9506.10-1988,GB/T 9506.11-1988标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
南京华东赛斯真空材料有限公司中国电子科技集团第十二研究所工业和信息化部电子工业标准化研究所
薛函迎郭卫斌张巨先刘筠
GB/T 25495-2010 吸气剂金属释放特性测试方法GB/T 25494-2010 吸气剂成分分析测试方法GB/T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法GB/T 4314-2017 吸气剂术语SY/T 5888-1993 浮选剂浮选效果评定方法转子吸气法GB/T 8763-2020 非蒸散型吸气材料及制品吸气性能测试方法GB/T 9505-2010 蒸散型钡吸气剂GB/T 4965-1985 吸气剂分类及型号命名方法JB/T 6370-2011 柔性石墨填料环物理机械性能 测试方法20250075-T-604 真空技术真空泵性能测量标准方法第5部分:非蒸散型吸气剂(NEG)真空泵
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