GB/T 29557-2013《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》

Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

国家标准《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。

主要起草人陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。

基础信息

标准号：GB/T 29557-2013发布日期：2013-07-19实施日期：2014-03-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 15969:2001。采标中文名称:表面化学分析深度剖析溅射深度测量。

起草单位

中山大学中国科学院大连化学物理研究所浙江大学

起草人

陈建张训生张卫红盛世善谢方艳龚力

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