GB/T 30652-2014《硅外延用三氯氢硅》

Trichlorosilane for silicon epitaxial

国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。

主要起草人赵立奎、张莉萍、谭卫东、金龙、刘新军、郑华荣。

基础信息

标准号：GB/T 30652-2014发布日期：2014-12-31实施日期：2015-09-01废止日期：2024-03-01标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中锗科技有限公司南京中锗科技股份有限公司南京国盛电子有限公司

起草人

赵立奎张莉萍刘新军郑华荣谭卫东金龙

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