GB/T 30701-2014《表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定》

Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

国家标准《表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中国计量科学研究院。

主要起草人王海、宋小平、王梅玲、高思田、冯流星。

基础信息

标准号：GB/T 30701-2014发布日期：2014-03-27实施日期：2014-12-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17331:2004。采标中文名称:表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定。

起草单位

中国计量科学研究院

起草人

王海宋小平冯流星王梅玲高思田

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