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Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
国家标准《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。
主要起草单位协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司。
主要起草人魏明德 、黄朝晖 、刘逸枫 、杭寅 、徐永亮 。
标准号:GB/T 30857-2014发布日期:2014-07-24实施日期:2015-04-01标准类别:方法中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
协鑫光电科技控股有限公司浙江昀丰新能源科技有限公司中国科学院上海光机所
魏明德黄朝晖徐永亮刘逸枫杭寅
GB/T 30869-2014 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法GB/T 6618-2009 硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法GB/T 20220-2006 塑料薄膜和薄片样品平均厚度,卷平均厚度及单位质量面积的测定称量法(称量厚度)YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法20231112-T-469 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法GB/T 24328.2-2020 卫生纸及其制品第2部分: 厚度、层积厚度、表观层积紧度和松厚度的测定
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