GB/T 18867-2014《电子工业用气体六氟化硫》

Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。

主要起草人黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵等。

基础信息

标准号：GB/T 18867-2014发布日期：2014-12-22实施日期：2015-07-01全部代替标准：GB/T 18867-2002标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

黎明化工研究设计院有限责任公司青海信禾高精化工有限公司四川众力氟业有限责任公司大连大特气体有限公司上海仪盟电子科技有限公司成都科美特氟业塑胶有限公司佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司四川中测标物科技有限公司

起草人

黄晓磊牛学坤刘长庆任清贵赖明贵傅涛

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