GB/T 34894-2017《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学。

主要起草人胡晓东、郭彤、程红兵、于振毅、李海斌、崔波、朱悦、裘安萍。

基础信息

标准号：GB/T 34894-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-05-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中机生产力促进中心国家仪器仪表元器件质量监督检验中心南京理工大学天津大学中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人

胡晓东郭彤李海斌崔波程红兵于振毅朱悦裘安萍

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