GB/T 16595-2019《晶片通用网格规范》

Specification for a universal wafer grid

国家标准《晶片通用网格规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司。

主要起草人潘金平、饶伟星、杨素心、卢立延、楼春兰、徐新华、吴雄杰、高海军、王伟棱、郑欢欣、余俊军。

基础信息

标准号：GB/T 16595-2019发布日期：2019-03-25实施日期：2020-02-01全部代替标准：GB/T 16595-1996标准类别：基础中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

浙江海纳半导体有限公司有研半导体材料有限公司上海合晶硅材料有限公司有色金属技术经济研究院浙江省硅材料质量检验中心

起草人

潘金平饶伟星楼春兰徐新华王伟棱郑欢欣杨素心卢立延吴雄杰高海军余俊军

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