GB/T 38341-2019《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》

Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司。

主要起草人王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、肖昆辉、郑凤杰、张威、程逸轩、马书嫏、陈得民。

基础信息

标准号：GB/T 38341-2019发布日期：2019-12-31实施日期：2020-04-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

东南大学佛山市川东磁电股份有限公司浙江博亚精密机械有限公司无锡华润上华科技有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司华为技术有限公司中机生产力促进中心沈阳国仪检测技术有限公司北京大学中国科学院电子学研究所

起草人

王磊黄创君朱悦夏长奉石云波李海斌张威程逸轩于振毅陆学贵黄庆安龙克文肖昆辉郑凤杰马书嫏陈得民

相近标准(计划)

20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法GB/T 44513-2024 微机电系统（MEMS）技术传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法20242021-T-469 微机电系统（MEMS）技术MEMS电容式麦克风性能试验方法20231775-T-339 半导体器件微电子机械器件第 36 部分：MEMS 压电薄膜的环境及介电耐压试验方法20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范20241868-T-469 微机电系统（MEMS）技术硅通孔三维结构可靠性评价要求GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法20243539-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法

上一篇： 冲模导向装置第1部分：导柱结构型式

下一篇： 毛皮源性成分检测实时荧光定性聚合酶链式反应（PCR）检测方法