GB/T 42158-2023《微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》

Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

国家标准《微机电系统（MEMS）技术微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、苏州揽芯微纳科技有限公司、东南大学、苏州市标准化协会、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、深圳市中图仪器股份有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国合格评定国家认可中心、深圳市道格特科技有限公司。

主要起草人张硕、顾枫、李根梓、沈俊杰、俞骁、周再发、王敏锐、贾建国、许百宏、许克宇、王志远、刘志广。

基础信息

标准号：GB/T 42158-2023发布日期：2023-03-17实施日期：2023-07-01标准类别：基础中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-26:2016。采标中文名称:半导体器件微机电器件第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法。

起草单位

苏州市质量和标准化院苏州揽芯微纳科技有限公司苏州市标准化协会深圳市中图仪器股份有限公司深圳市美思先端电子有限公司深圳市道格特科技有限公司中机生产力促进中心有限公司东南大学美满芯盛（杭州）微电子有限公司四川富生电器有限责任公司中国合格评定国家认可中心

起草人

张硕顾枫俞骁周再发许百宏许克宇李根梓沈俊杰王敏锐贾建国王志远刘志广

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