GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》

Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、峨嵋半导体材料厂。

主要起草人何秀坤、李静、段曙光、梁洪。

基础信息

标准号：GB/T 1558-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01废止日期：2024-07-01全部代替标准：GB/T 1558-1997标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1391-0704。采标中文名称:硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心峨嵋半导体材料厂中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

何秀坤李静段曙光梁洪

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