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国家标准

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GB/T 12963-2009《硅多晶》

Specification for polycrystalline silicon

国家标准《硅多晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位峨眉半导体材料厂。

主要起草人罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。

基础信息

标准号:GB/T 12963-2009发布日期:2009-10-30实施日期:2010-06-01全部代替标准:GB/T 12963-1996标准类别:产品中国标准分类号:H82国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

采标情况

本标准修改采用国际标准:SEMI M16-1103:2003。采标中文名称:多晶硅规范。

起草单位

峨眉半导体材料厂

起草人

罗莉萍张辉坚王炎

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服务领域广泛,涉及众多行业。食品、环境、医药、化工,还是建筑、电子、机械等领域,都能提供专业检测服务。

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