GB/T 26111-2010《微机电系统（MEMS）技术术语》

Micro-electromechanical system technology - Terms

国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。

主要起草人丁红宇、刘伟、张苹、崔波等。

基础信息

标准号：GB/T 26111-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01废止日期：2023-09-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中机生产力促进中心清华大学中北大学等中国电子科技集团第13研究所上海交通大学

起草人

丁红宇刘伟张苹崔波

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